技术编号:17883435
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于镀膜机领域,尤其涉及一种带有报警装置的数控真空镀膜机。背景技术真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空镀膜机常采用油扩散泵进行抽真空,油扩散泵的返油现象一直是使用油扩散泵需要注意的问题,当冷却水不足时,必须关闭油扩散泵,否则轻则会造成返油,重则会使油扩散泵过热造成油扩散泵油烧焦。这就需要在冷却水不足时及时报警,以便于进行冷却水的添加和油扩散泵的关闭...
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