测试焊垫的制作方法技术资料下载

技术编号:17890252

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本发明是有关于一种测试焊垫,特别是有关于一种可防止透明导电层爬坡异常的测试焊垫。背景技术目前之电性测试扎针的测试焊垫(PAD)系如图1A及图1B所示,图1A为传统的测试焊垫未配置透明导电层时的顶视图;图1B为传统的具透明导电层之测试焊垫的放大剖视图。在图1A及图1B中,测试焊垫1是将源漏极层(SD)11设置在平坦层(PLN)12的孔内,在源漏极层(SD)11制程中易出现源漏极层(SD)11的边缘出现侧向蚀刻的问题而产生源漏极层(SD)11侧壁内缩S的情形,导致透明导电层13在源漏极层(SD)11...
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