技术编号:17890408
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及油气分离技术领域,尤其涉及一种拉晶炉富氩尾气除油系统。背景技术单晶硅的太阳能企业,在生产过程中,需要将大量高纯氩气充入多晶硅生产炉或单晶硅生产炉,作为保护气体,防止空气进入。含氩气的尾气被真空泵抽出排入大气,造成了浪费。单晶硅生产过程中排出的富氩气尾气中氩气的含量高达98%,具有很高的提取价值。同时排放的富氩尾气中含有CO、CH4、烃类、油、灰尘等对空气造成污染、对人体有伤害的物质。同时富氩尾气中含有油和灰尘,油尘难于去除,容易增加系统阻力甚至阻塞管道。油污的存在会大大降低除尘设备...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。