技术编号：17900204
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种从可微加工的材料开始执行的制造钟或表的部件的方法。背景技术从诸如硅的可微加工的材料开始通过微加工技术、特别是通过干刻蚀(例如通过深反应离子刻蚀(DRIE))或通过化学湿刻蚀进行的钟或表的部件的制造是已知的。图1所示的现有技术中的这种制造方法包括第一步骤E1(图1a)，该步骤包括提供基片1，该基片1包括可微加工的材料(例如，硅)的第一薄片2，该第一薄片2的厚度与最终部件的约为10-200微米的厚度对应并且用于被加工以形成所述部件。该第一薄片2通过氧化硅的中间层3组装在用作支撑部并且例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。