技术编号：17913277
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及腐蚀装置技术领域，具体涉及一种铌酸锂法腐蚀装置。背景技术铌酸锂(LiNbO3)是一种铌、锂和氧的化合物，其晶体具有钙钛矿型结构，在微波技术中用于调Q开关、光电调制、倍频、光参量振荡，掺加一定量的铁和其他金属杂质的铌酸锂基片，为一种具有压电、铁电、电光、非线性光学、热电等多性能材料，在微声技术中用于表面波、体波、换能器元件，还可作全息记录介质材料。铌酸锂基片制备过程中，常常需要对其进行表面腐蚀处理；目前，在腐蚀处理铌酸锂基片时，大多数装置在腐蚀效率低，取放铌酸锂基片不方便；而且腐蚀后...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。