技术编号:1791676
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种蓝宝石晶圆棒加工领域的装置,具体是指用于将晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴快速定位重合的蓝宝石晶圆棒滚圆用中心定位装置。背景技术随着人们对外延芯片的需求量越来越大,对衬底用蓝宝石晶圆棒质量指标的要求也越来越高,为了提高精度,需要进ー步地减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度之差。现有技术中通常采用以下方式来减小晶圆棒毛坯中心轴与滚圆机夹持装置中心轴的同心度差先将晶圆棒毛坯夹持,然后用百分表測量同心度之差,再用敲击方式使二...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。