一种检测器、检测系统及物质浓度的检测方法与流程技术资料下载

技术编号:17917569

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本公开涉及半导体技术领域,尤其涉及一种检测器、检测系统及物质浓度的检测方法。背景技术目前,用于检测液体浓度的检测器一般为探针式液体浓度检测器,这种检测器体积较大,不能够集成于芯片上,使用起来不够便捷;且检测效率低,不能实现同时检测多种液体的浓度。发明内容针对现有技术中存在的上述技术问题,本公开提供了一种检测器、检测系统及物质浓度的检测方法,本公开是基于薄膜晶体管阵列为设计原理,结构简单,生产时可以做到较小的体积,使用便捷。根据本公开的第一方案,提供了一种检测器,所述检测器包括:衬底;有源层,设置...
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