技术编号：17919874
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微光显微镜偏置装置，属于微电子领域。背景技术集成电路不断向小尺寸、高性能、低功耗、高集成度的方向发展，对可靠性有着越来越高的要求。随着集成电路越来越普及，各种类型的失效情况出现在半导体器件中，因此，如何快速、准确地进行失效分析，对保证器件的可靠性起着至关重要的作用。在失效分析技术中，对于缺陷的定位是非常重要的一环。但是，器件尺寸的缩小，集成度越来越高，以及多层布线越来越复杂，对缺陷定位提出了更高的要求。传统进行集成电路失效点定位的技术有光学显微镜、红外热像、液晶、扫描电子显微镜、电...
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