基于微机电系统的骨传导传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:17926597

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本发明涉及电子技术领域,具体涉及一种麦克风结构。。背景技术MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)麦克风是指基于MEMS技术制造的麦克风,简单的说就是一个电容器集成在微硅晶片上,可以采用表贴工艺进行制造,能够承受很高的回流焊温度,容易与CMOS工艺及其它音频电路相集成,并具有改进的噪声消除性能与抑制能力。传统的MEMS麦克风仅仅只能捕获人在说话时声带振动产生的声波,传播介质为空气,但是声波在传播途中往往会受到大量外界的噪声干扰,就会使得语音通话效果大...
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