技术编号:17929118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及输送系统及其运转方法。背景技术作为输送大型基板的装置,已知有基板处理设备(例如,参照专利文献1)。在专利文献1所公开的基板处理设备中,通过倾斜装置使隔开规定间隔地储存有多个基板的垂直盒倾斜,并具备保持倾斜的基板的基板手。而且,该基板手具有:保持板,其沿着基板延伸;可动支承爪,其支承基板的下端;以及可动夹持爪,其夹持基板的上端。另外,已知有将多个玻璃板、与被夹持在玻璃板间的衬垫纸以纵向放置的方式进行搭载的纵向放置型梱包容器(例如,参照专利文献2)。在专利文献2所公开的梱包容器中,承受玻璃...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。