技术编号：17932280
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及用于感测数据的变化的技术，更具体地讲，涉及一种用于感测关于制造工艺中的工艺或设备中的测量数据的变化的方法和系统。背景技术为了实现生产的产品的稳定的质量，需要感测关于工艺/设备的测量数据的变化。如果感测到微小变化，则可通过更迅速地采取初期措施，最小化或者提高质量的可变性。然而，当前的感测技术不足以感测微小变化。例如，通常在制造场地执行的统计工艺控制技术局限于根据数据的偏差和定义的规则感测短期的向下趋势或向上趋势，并且对于识别或感测前测量数据与后测量数据之间的微小变化存在限制。因此，需要用...
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