技术编号：17934861
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于MEMS传感技术领域，更具体地，涉及一种自平衡式变面积阵列电容位移检测装置及方法。背景技术MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)传感器就是使用微电子技术加工制造的传感器，具有体积小、重量轻、能耗低等优点。MEMS阵列电容传感结构是典型的“三明治式”结构。通过上盖、下盖、弹簧振子膜片的封装，在弹簧振子质量块与上盖板之间形成阵列电容结构，振子质量块在敏感轴方向上的移动，形成变面积式电容设计。外界检测目标的变化转化为质量块与外框参考系的相对位置变化，完成...
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