技术编号：17934870
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本公开至少一实施例涉及一种阵列基板及其制作方法。背景技术低温多晶硅薄膜晶体管(LTPS-TFT)的电子移动率高、响应速度快，氧化物薄膜晶体管(Oxide-TFT)具有较低的漏电流。在显示装置的驱动电路中将LTPS-TFT与Oxide-TFT相结合的技术(LTPO技术)能够结合这两者的优势，达到更好的显示效果。目前采用LTPO技术制作显示基板的工艺较复杂。例如，在形成低温多晶硅薄膜晶体管之后，要形成覆盖低温多晶硅薄膜晶体管的保护层，然后在保护层上形成氧化物薄膜晶体管，以防止后续制作氧化物薄膜晶体管...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。