技术编号:17934997
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及干涉条纹检测,尤其涉及一种自动找寻干涉条纹的方法和装置。背景技术光学3D表面轮廓仪是以白光干涉扫描技术为基础研制而成的用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。以非接触的扫描方式,实现针对样品表面的超高重复精度的3D测量,获取表征样品表面质量的2D、3D数据。可广泛应用于半导体、3C电子、超精密加工、光学加工、微纳米材料、微机电等行业中精密元器件的表面粗糙度、几何轮廓等参数的测量和分析。对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。