剥离装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17935232

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本发明涉及到,具体涉及到用于剥离粘在蓝膜上的多个半导体芯片的剥离装置。背景技术现有的剥离装置,可以获取蓝膜上的半导体芯片等电子零件的位置信息,基于此位置信息,从蓝膜里侧用顶针按压住,再从蓝膜表面吸附,使电子零件一个一个被剥离。为了精准获取体积微小的电子零件的位置信息,使用了高像素照相机在接近蓝膜的状态下拍摄电子零件。这种情况下,由于照相机的能够拍摄的区域是有限的,为了拍摄蓝膜全区域上的电子零件,支撑蓝膜的支撑用具对着照相机移动的同时,要多次进行摄像动作。例如这里,为了完全剥离蓝膜上已经被剥离装置...
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