技术编号：17936918
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种二元过渡金属氧化物薄膜纳米图形加工方法，属于微纳米结构加工领域，涉及纳米离子学领域。背景技术微纳米结构加工技术是一种在微米及其以下尺度的加工细微结构的技术，最早应用于集成电路的制备。近些年，不断发展的微纳米结构加工技术被广泛应用于信息存储、生物、航空航天等领域。传统的微纳米结构加工技术包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、激光加工技术等。然而，复杂的加工过程、昂贵的加工设备、微米尺度的加工范围等缺点限制了微纳米结构加工技术的进一步发展。随着纳米技术的快速发展，扫描...
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