技术编号：17936957
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶体硅制备技术领域，具体是涉及一种用于颗粒多晶硅的制备装置及方法。背景技术多晶硅颗粒，也叫颗粒多晶硅，可以直接用作原材料，主要用于单晶硅连续拉晶加料、高效多晶硅铸锭铺底以及西门子法块状多晶硅填隙增加装炉量等；多晶硅的制造方法主要为西门子生产法和流化床法，以及基于这两种方法的相应的改良方法，西门子生产法的产品为棒状多晶硅，需要进一步破碎或者再次纯化等化工过程才能得到颗粒多晶硅；采用流化床法可以直接制备多晶硅颗粒，该类方法通过借助于流化床中的气流流化硅颗粒进行，同时借助于加热装置将流化床加...
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