一种烘干装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17961586

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本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,尤其涉及一种用于烘干硅片的烘干装置。背景技术目前,用于制作硅太阳能电池的硅片有单晶硅与多晶硅,太阳能电池的制备过程中,硅片需要依次经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜以及印刷等工序,制作电池的第一步是将硅片制绒。单晶硅基本上是用NaOH/KOH溶液制绒,制绒的设备为槽式机台;多晶硅目前是用HF/HNO3混合溶液制绒,采用槽式机台的设备。众所周知,制绒的下一道工序是扩散制结,即PN结制备工序,而进到扩散工序的硅片必须是脱完水渍的,所以制绒的设备需具备将硅片烘干的能力。采...
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