技术编号：17962202
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种多晶硅铸锭炉坩埚护板。背景技术多晶硅铸锭过程主要分为五个阶段，分别为：加热、熔化、长晶、退火和冷却。由于在熔化阶段，炉内温度高达1560℃以上，石英坩埚会产生软化、变形情况，通常在坩埚外面设置护板，起到固定作用，防止石英坩埚变形过大。而且随着投料量的增大，越来越多地使用铸锭炉 G7、 G8，目前八边形铸锭多采用八块等静压石墨材质制成的护板结构。8个角受应力较大，因为石墨材质性能硬而脆，刚性强度足够而拉伸强度不足，所以硅料熔化过程中产生的应力集中到护板上面时，石墨护板设计时就需要...
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