技术编号：17980865
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属高温炉技术领域，具体涉及一种用于高温炉的防变形钨钼金属隔热屏结构。背景技术钨钼金属隔热屏被广泛的应用于高温炉炉衬，用于烧结、晶体生长、退火、钎焊等工艺操作，特别是在半导体领域、高温陶瓷烧结领域得到大范围的应用。耐火砖作为高温炉炉衬只能用于大气状态下工作，利用耐火砖自身的隔热性能进行保温，所以不能快速的升降温，每炉次周期较长，而且只能用于低温炉。现在高温炉领域大多是在真空或者氢气还原性气氛下工作，只能用钨钼金属隔热屏或者石墨隔热屏来作为炉衬。但石墨相对于钨钼材料来说饱和蒸气压高，所以高...
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