导线接合装置的制作方法技术资料下载

技术编号:17981547

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本发明涉及一种进行接合工具(bonding tool)的按压负载校准的导线接合(wire bonding)装置。背景技术多使用下述导线接合装置,其通过接合工具来将导线按压至基板的电极或电子零件的电极,将基板与电子零件、或者将电子零件彼此利用导线来予以连接。接合装置若长时间连续动作,则有时会因周围环境等的影响而导致按压负载经时地发生变化。按压负载对接合时的导线与电极的合金形成造成大的影响,若按压负载经时地发生变化,则有时会导致接合品质下降。因此,在导线接合装置中,在连续运转规定的时间例如1000小...
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