技术编号:17981604
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请主张名称为“高压退火及降低湿蚀刻速率(HIGH-PRESSURE ANNEALING AND REDUCING WET ETCH RATES)”且在2016年11月1日申请的美国临时专利申请第62/415,757号以及名称为“高压退火及降低湿蚀刻速率(HIGH-PRESSURE ANNEALING AND REDUCING WET ETCH RATES)”且在2016年11月23日申请的美国非临时申请第15/360,016号的优先权。通过参照其全文的方式在此将62/415,757与15/3...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。