技术编号:1803611
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型大体涉及坩埚喷涂系统,具体地涉及实现均匀喷涂的坩埚制备系统。背景技术现有的坩埚,尤其是石英坩埚,较常采用的喷涂工艺是先将一定粒度的喷涂用粉料和去离子水(DI水)以一定量配比,搅拌均匀,输送到喷头后借助增压压力,在洁净腔室内用喷头喷涂在时刻保持预热温度的的石英坩埚内壁,喷涂时使坩埚保持旋转,利用离心力作用,坩埚能喷涂得更加均匀;经过烘箱在一定程序下烧结,石英坩埚内壁最终形成了一层喷涂粉料的喷涂层。该喷涂工艺主要存在以下不足1、需要将粉料先均匀溶解在...
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