技术编号：18040931
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳米结构制备领域，具体涉及一种柱状同轴圆环纳米结构的制作方法。背景技术纳米技术是当前一大研究热点，各种各样的纳米结构表现出许多新颖的物理特性，被认为在光学、材料、生物、能源以及医学等诸多领域有着极大的应用潜力。柱状同轴纳米结构是一类特殊的纳米结构，尤其是金属化之后，可用以形成特殊的纳米光学谐振腔体，可应用于折射率传感、表面拉曼增强、纳米激光器等场合。这类柱状同轴纳米结构尺度往往在数十纳米至几个微米的量级。当外径尺寸在1微米以内时，其制备对加工工艺有很高的要求。通常，制备这类纳米级的同...
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