技术编号:18059239
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本国际专利申请要求2016年11月16日提交的美国专利申请序列No.15/353,429的优先权和权益,将其通过引用以其整体并入本文中以用于所有意图。技术领域总而言之,本公开涉及用于器材例如半导体的加工的耐腐蚀组件,并且涉及这样的耐腐蚀组件的制造方法。背景技术半导体的加工频繁地牵涉与强的电和磁场相伴的腐蚀气体例如卤素。腐蚀环境和强的电/磁场的这种组合产生对于耐腐蚀绝缘体的需要。普遍认同的是,对于这样的应用的大多数耐腐蚀绝缘材料为稀土化合物例如氧化钇(也称为“钇土”)。遗憾的是,稀土化合物趋于既是...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。