技术编号:18068989
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种激光加工方法以及制造掩模总成的方法,且更具体来说涉及一种在拉伸工件时补偿形状改变的激光加工方法及制造掩模总成的方法。背景技术当制造有源矩阵有机发光二极管(active matrix organic light-emitting diode,AMOLED)时,执行真空沉积工艺以沉积数层有机材料,且应针对RGB(红色、绿色及蓝色)像素中的每一者沉积不同的有机材料。在此,精细金属掩模(fine metal mask,FMM)用作屏蔽掩模,以使有机材料仅沉积到所期望的像素上而不会沉积到其他...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。