技术编号：1808013
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于液晶显示装置制造，具体涉及。背景技术在用涂布系统(slit coater)进行光刻胶等材料的涂布时,为保证涂布精度及破真空时间(tact time)，需将玻璃基板真空吸附在机台上，一般采用如图1所示的方法，沿涂布方向，将基板102均匀分成Ql至Qn共n个区域，将基板102上第I区域Ql真空吸附，之后用涂布头103涂布该区域，之后涂布头103运动，依次将基板102上的剩余n-1个区域处边吸附边涂布，最后将基板102上的n个区域统一解除真空吸附状态。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。