技术编号:18090321
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型实施例涉及LED芯片制造技术领域,具体涉及一种用于承载衬底基片的装置。背景技术外延片生长技术处于LED产业链中的上游环节,是半导体照明产业技术含量最高、对最终产品品质、成本控制影响最大的环节。在MOCVD工艺过程中,为了达到外延片均匀的的要求,需要承载衬底基片的装置旋转,现有用于承载衬底基片的装置包括石墨支撑环和设置在石墨支撑环上并和石墨支撑环同体旋转的石墨基座,石墨支撑环通过连接件和传动件与驱动装置连接,衬底基片放置在石墨基座上。现有石墨支撑环和石墨基座分别通过若干长方形卡头插入若干...
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