技术编号:1809709
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种除尘装置及一种具有此除尘装置的蒸镀机台,并且还涉及一种利用此蒸镀机台对遮罩进行线上清洁的方法。背景技术 现今,由于有机发光二极管(Organic Light Emitted Diode,以下简称OLED)显示器具有高亮度、高反应速度、直流低电压驱动、重量轻、无视角差及不需背光源等诸多优点,使其越来越受到人们的重视,成为下一代显示器面板的发展重点。而最常利用遮罩蒸镀法是选择性地在玻璃基板表面分别形成可发出红、蓝、绿三色光的发光薄膜层。其中遮罩蒸...
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