技术编号：18123461
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及硅片腐蚀夹具技术领域，尤其涉及一种避免硅片背面产生腐蚀斑的夹具。背景技术现有的腐蚀夹具通常是三点固定，而且是通过夹爪固定，这样很容易在夹爪处形成腐蚀斑，影响硅片表面的外观属性，夹爪固定后，取硅片容易破坏夹爪，影响夹具的使用寿命；现有的腐蚀夹具通常都是只能实现单个尺寸硅片的腐蚀，这样夹具在实际操作时，需要经常更换，容易造成夹具的损坏，且容易影响加工效率。授权公告号为：CN 202434491 U的实用新型公开了一种带凸点圆片键合的夹具，夹具圆片上带有可容纳键合圆片凸点的沟槽，夹具圆片...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。