技术编号：18124601
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及电子装置、电子装置的制造方法、物理量传感器、电子设备及移动体。背景技术一般，已知有作为具备机械式可动的结构体的电机械系统结构体的物理量传感器。作为物理量传感器，例如已知有如下的电容式传感器，其基于根据物理量(加速度、角速度等)的作用而进行位移的可动电极与同该可动电极对置的固定电极之间的静电电容来检测物理量(例如，专利文献1所记载的半导体力学传感器)。该电容式传感器例如通过支承用的基板、设置于该基板上的传感器元件(固定电极、固定部(锚定(anchor)部)、从固定部延伸出的支承部、通过支...
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