技术编号：18142303
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造技术，具体涉及一种薄膜结构的形成方法、声电换能器件及其形成方法。背景技术声电换能器用于进行声信号和电信号之间的转换。麦克风是将声波(即，声信号)转换成电信号的声电换能器。扬声器则是将电信号转换为声信号的声电换能器。基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)的传感器广泛应用于各类电子设备中。目前，对于麦克风和扬声器等声电换能器件的小型化要求使得越来越多的器件采用MEMS技术制造。作为示例，电容式MEMS麦克风包括背板电极和与电极平...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。