技术编号：18159510
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及使用了一个或者多个促动器单元的减振系统以及具备该减振系统的光学装置。背景技术一般，为了抑制在构造物、装置等中产生的振动或者摆动(以下，统称为“振动”)，利用各种减振机构、减振系统。特别是，由于振动而在多个物体之间产生相对位移的情况是不优选的。例如，在具有用于照射电子束的镜筒、以及作为描绘对象的样本的电子束描绘装置中，由振动导致的镜筒与样本之间的相对位移是不优选的。因此，电子束描绘装置装备减振机构，该减振机构用于使由于保持样本的工作台的移动导致的工作台的加减速而产生的镜筒振动减少。其原因...
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