技术编号：1816380
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种刻制图案的方法，特别是涉及一种采用高压空气加金刚砂的旋转混合射流，在塑性图案保护层的掩蔽下，对硬质材料进行雕刻图案的方法及其所用的设备。近年来，在印刷、半导体器件的加工处理领域，发展了一种光刻技术，如CN86103644A公布了一种光刻工艺，包括在衬底旋涂保护层，并将掩模图形转移到保护层上而后进行曝光，图形被曝光后在衬底上形成该图形。它在衬底上的图形是通过显影得到的平面图形，这种图形在耐久性、形象的逼真程度以及装饰美感方面，都还存在一些不足。...
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