技术编号:18174925
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光伏太阳能电池技术领域,具体为一种基于SE的碱抛光高效PERC电池工艺。背景技术PERC电池技术具有明显的性能和成本优势,推动了P型太阳能级单晶硅片的应用。同时高效率、低成本、环保是晶硅太阳能电池发展的主流方向。PERC电池主要是在背面形成钝化膜,这就要求背表面具有良好的平整性,碱抛设备主要的研究就集中在对背面进行抛光处理,这样不但解决了背面镀膜的平整性问题,而且可以去除背面N型扩散层,促进P+层的形成,提高少子寿命,增加背表面反射率。因此引进抛光工艺整合到PERC电池现有生产工艺中是...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。