技术编号:18174953
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及LED外延设计应用技术领域,具体地说,涉及一种减少外延片翘曲的LED生长方法。背景技术LED(Light Emitting Diode,发光二极管)是一种固体照明,由于LED具有体积小、耗电量低使用寿命长高亮度、环保、坚固耐用等优点受到广大消费者认可,国内生产LED的规模也在逐步扩大。蓝宝石是现阶段工业生长GaN基LED的最普遍的衬底材料。目前传统的外延生长技术中外延片翘曲大,尤其在大尺寸蓝宝石衬底上进行外延晶体生长时,翘曲更大,导致后续芯片制作过程中研磨破片率高,产品良率低下。因此,...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。