技术编号:18175279
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种微铣削机床对刀方法,具体涉及一种针对加工太赫兹慢波结构件的对刀方法。背景技术行波管是电子装备及武器装备中最重要的一种电真空功率器件,具有尺寸小、损耗大、准直度高等特点,对器件加工和系统集成提出很高要求。慢波结构作为行波管的核心组件,亚毫米量级的介观尺寸决定其加工装备及工艺十分复杂;同时为保证系统的可靠运行,慢波电路的尺寸偏差通常要求小于10%。太赫兹频段电磁波极小的趋肤深度也对加工的表面质量提出更高的要求。不仅要求具有较高的面形精度、表面粗糙度,而且零件形状也更加复杂化、材料多样化...
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