使用涂敷热解氮化硼的石墨舟的金属电阻加热法的制作方法技术资料下载

技术编号:1817589

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本发明涉及金属蒸发,更具体地说,涉及使用具热解氮化硼镀膜的石墨容器的金属电阻加热的改进方法。例如铝、铜、铬、锌和锡等许多金属通过真空淀积法被涂到各种衬底,例如金属、玻璃和塑料上,在该淀积过程中借助于电阻加热使容器发热,以便使送入的与容器接触的金属蒸发。这种容器(通常称为“舟”)以串联电路的方式被接到电路中,使得电流直接流过该舟,此舟又加热与它接触的金属直到该金属蒸发。该金属是在供产品上涂料的真空环境中被蒸发,该产品可以个别地导入真空室或连续不断地送入和通过...
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