技术编号:18187252
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于机械技术领域,涉及一种大行程精密对位平台。背景技术目前,现有技术中的采用高精密对位平台的设备中,对位系统大多采用并联机构,并联机构的上、下平台以相互独立的并行构件支撑,因此具有结构相对稳定、刚度大的特点,此外,由于机架与末端执行器间具有环状闭链约束,使得并联机构具有更大的承载能力,因不存在各关节的误差的累积和放大效应,故并联机构误差小、精度高;并联机构的驱动部分易安装于机架上减轻了运动负荷,具有较好的动力性能,并联结构具有操作速度高、结构紧凑、刚度高、承载能力大和动力学性能好的优点。但...
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