技术编号:1821147
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅棒切割方法,特别涉及。背景技术目前大部分硅棒生产厂家在多晶去头、尾的工艺上都使用带锯截断或内圆截断, 不管是带锯截断还是内圆截断,在晶棒的2个端面都会有斜面产生,带锯截断一般会产生 2-3mm的斜面,内圆截断也会产生0. 5_lmm的斜面,因为目前硅棒厚度平均在0. 18mm,而Imm 的硅棒长度就是3pcs硅棒,不光是在硅棒损失上,在硅棒切割过程中有些斜面会导致钢在斜面上打滑、刮擦等现象,从而导致断线,影响正常生产。发明内容本发明为了弥补...
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