技术编号:1822375
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及薄膜制备。特别是制备双面超导薄膜材料的。超导微波器件是高温超导薄膜的重要应用之一,尤其是用钇钡铜氧高温超导薄膜制备无源微波器件更受到各国有关研究组的重视,而且发展很快。这类器件的核心部件是一块刻成特定图形的钇钡铜氧超导薄膜,在薄膜的另一面放置另一块超导薄膜或低电阻率的金属薄膜做为接地电极。这种结构的微波器件虽然取得了很大进展,但是仍然因为基片的微变形或金属电极的电阻而使器件的损耗较大。进一步降低微波损耗的重要途径是使用双面超导薄膜制备超导微波器件...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。