技术编号:18235859
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及管式PECVD设备,尤其涉及一种管式PECVD设备的反应室结构。背景技术光伏发电系统是一种利用太阳能电池半导体材料的“光伏效应”将太阳光辐射能直接装换为电能的一种新型发电系统。太阳能电池,又称光伏电池,是光伏发电系统中最核心的器件。目前,技术最成熟,并具有商业价值的、市场应用最广的太阳能电池是晶体硅太阳能电池。太阳光在晶体硅表面的反射损失率高达35%左右,严重影响太阳能电池的最终转换效率。为提高转换效率,即,减少晶体硅表面对太阳光的反射,常在晶体硅表面镀一层或多层二氧化硅或氮氧硅或氮化...
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