技术编号：18245078
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及换向阀及涂敷装置。背景技术有从喷嘴喷出流动体、向基板等工件的表面涂敷流动体的涂敷装置。此外，在喷嘴与容纳着流动体的罐之间设置有换向阀。在将流动体向喷嘴供给时，由换向阀将喷嘴与罐连接。在将流动体的供给停止时，由换向阀将流路切换，从而将喷嘴与回收罐等连接。但是，当用换向阀切换了流路时，有在处于配管的内部或换向阀的内部中的流动体中发生气泡的情况。如果在流动体中发生气泡，则包含气泡的流动体被供给到工件的表面，有可能发生涂敷不匀，或在涂敷膜的内部中发生气孔。所以，希望进行能够抑制由气泡带来的不良...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。