技术编号:18249142
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密制造设备领域,具体涉及一种径向推力联合闭式气体静压转台,特别是涉及一种高推力闭式气体静压转台。背景技术在超精密加工领域,测量仪器尤为重要。气体静压轴承因其高精度、无污染的特点而广泛应用于测量转台上。但由于气体的可压缩性,气体静压轴承的承载能力和刚度较低从而导致转台性能不能满足高精度大负载应用。现有技术中的气体静压轴承存在以下问题:(1)承载能力不足的问题,提高供气压力容易导致气锤自激振动而失去稳定性;(2)提高气体静压轴承的承载能力时会损失较大刚度,从而会降低转台的精度的问题。以...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。