技术编号：18255297
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及无菲林曝光的PCB领域，具体是一种基于数字微镜LDI的装置及倾斜扫描方法，尤其是涉及一种通过两组成像镜头和倾斜掩模完成倾斜扫描的方法。背景技术传统曝光机是目前印刷电路板(PCB)制造工艺中最重要的设备之一，其曝光质量决定了PCB的良率、线宽精度等。随着PCB线宽线距的要求越来越窄，无菲林曝光技术的需求显得更加迫切，LDI激光直接成像技术快速发展；目前市面上主要以数字微镜成像方案为主。然而DMD数字微镜本身呈网格像素状，简单的直扫方式难以覆盖PCB的精度要求。DMD数字微镜本身呈标准的矩...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。