技术编号：18270607
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种通过宽带光谱仪测量和处理从软X射线到红外波长的波长范围内的光谱的方法。背景技术通常来说，宽带光谱仪是测量XUV源发射的光的光谱的适合于特定源的波长范围的光谱仪。XUV源的波长范围包括大约0.1nm到5nm的软X射线波长范围、大约5nm到40nm的极紫外(EUV)波长范围、大约30nm至120nm的真空紫外(VUV)范围波长、大约120nm至400nm的紫外(UV)波长范围等等。在文献中，没有明确定义这些范围的命名，并且对于部分重叠的范围可以使用不同的名称。XUV光源目前在诸如自由电...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。