技术编号:18296
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要本实用新型提供一种精馏罐区尾气回收系统,包括用于收集来自精馏和罐区尾气的尾气缓冲罐和用于利用冷媒冷凝尾气的深冷器,深冷器的尾气出口与废气淋洗系统的气体入口管道相连;所述系统还包括尾气回收罐,尾气回收罐与尾气缓冲罐的出口相连,且与深冷器的冷凝液出口相连,能够将从尾气缓冲罐输送出的尾气输送至深冷器,以及,收集并存储由深冷器冷凝形成的冷凝液,使得进入废气淋洗系统的废气中不再含有四氯化硅和三氯氢硅,从而无需分离提纯四氯化硅的步骤,可以简化尾气回收处理工艺,降低能耗,避免浪费,使得资源利用更为合理。专利说明一种精馏罐...
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