一种可在振动环境中工作的压力及加速度多功能传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:18298571

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本发明涉及到传感器领域,具体的说,特别涉及一种可在振动环境中工作的压力及加速度多功能传感器。背景技术压电压力传感器测量动态压力时往往伴随着振动,而压电元件对振动也有响应,从而在传感器的输出信号中混入了振动加速度乱真响应信号。消除振动乱真信号的常规方法是在传感器装配过程中,事先测得压电压力传感组件的加速度灵敏度,然后制作一个与它的加速度灵敏度一致的压电堆置入到压电压力传感器中去抵消它的加速度响应信号。这个过程中的标定比较繁琐,完成的器件仅对动态压力有响应。采用压电陶瓷为敏感元件的压电压力传感器,由...
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