技术编号:18298580
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种静电电容型压力传感器的异常检测方法及装置,所述静电电容型压力传感器具备对与被测定介质的压力相对应的静电电容进行检测的膜片构造的传感器元件。背景技术一直以来,在用于半导体制造设备等中的以真空计为代表的压力传感器中,大多采用使用所谓的MEMS(Micro Electro Mechanical Systems微机电系统)技术并具有小型膜片的传感器元件。该传感器元件的主要检测原理为,利用膜片来承受压力介质的压力,并将由此产生于膜片的位移、应力转换为某种信号。例如,作为使用了这种传感器元件的...
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