研磨材料再生方法与流程技术资料下载

技术编号:18300191

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技术领域本发明涉及一种研磨材料再生方法。背景技术作为在玻璃光学元件,玻璃基板,半导体设备的制造工序中进行精密研磨的研磨材料,目前使用以氧化铈为主成分,并向其中加入了氧化镧,氧化钕,氧化镨等而得到的稀土元素氧化物。作为其他的研磨材料,可以列举金刚石、氧化铁、氧化铝、氧化锆、胶体二氧化硅等。通常,在研磨材料的主要构成元素中,包含由日本国内不出产的矿物得到的材料,一部分依赖进口资源,且大多材料价格昂贵。因此,对于含有使用过的研磨材料的研磨材料废液,在技术上对资源的再利用化的对应成为重要问题。通常,作为...
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